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ALICAT 低壓損氣體質(zhì)量流量控制器 21W系列

型 號(hào)

所屬分類控制器

報(bào)價(jià)

更新時(shí)間2024-11-19

產(chǎn)品描述:ALICAT 低壓損氣體質(zhì)量流量控制器 21W系列采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。

產(chǎn)品概述

品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域化工,綜合

美國ALICAT 21W系列低壓降質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。
21W系列具有超低壓損,滿量程壓損可達(dá)480 Pa。21W系列可用于快速精確地測(cè)量過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度,適用于多種流量測(cè)控場(chǎng)合,尤其是要求低壓損的應(yīng)用場(chǎng)合。

應(yīng)用及案例


●  低溫容器檢測(cè)

●  大學(xué)/研究所

●  泄漏檢測(cè)

●  環(huán)境監(jiān)測(cè)

●  汽車制造

●  過程工藝氣體測(cè)量

ALICAT 低壓損氣體質(zhì)量流量控制器 21W系列產(chǎn)品特色


●  數(shù)字化產(chǎn)品

●  多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等

●  多參數(shù)可控:質(zhì)量流量、體積流量和壓力

●  可選高精度:可優(yōu)于0.5 %讀數(shù)

●  量程可控比寬,0.5~100 %滿量程

●  滿量程超低壓損為480 Pa

●  閥門響應(yīng)時(shí)間快,優(yōu)于100 ms

●  內(nèi)置98種氣體

●  可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體(最多5種成分),并存儲(chǔ)20種混合氣

ALICAT 低壓損氣體質(zhì)量流量控制器 21W系列精度升級(jí)


量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM,

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段,下述指標(biāo)升級(jí):

質(zhì)量流量普通精度      ± 0.75% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程(取最大值)

質(zhì)量流量高精度         ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程(取最大值)

重復(fù)性                       ±(0.1%   讀數(shù) + 0.02% 滿量程)

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移      ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差

                                  ± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差

質(zhì)量流量量程漂移      ± 0.01% 讀數(shù) / ℃溫差

                                  ± 0.1 % 讀數(shù) / Atm壓力差

技術(shù)指標(biāo)


介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體,請(qǐng)參考?xì)怏w兼容表

                   一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量       程     從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

量程可控比    0.5~100%滿量程

最大顯示流量    128 %滿量程            

最大可控流量    102.4 % 滿量程

顯  示  屏    帶按鍵背光開關(guān),標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ±(0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程)  精度升級(jí)部分見左下角

                  ±(0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程)(可選)

累計(jì)流量精度    流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)誤差

重  復(fù)  性    ±(0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程)

質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移    0.03%滿量程/ ℃(從25℃開始)

質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿量程漂移    ±(0.08 % 讀數(shù)+ 0.02 % 滿量程)/ Atm

                 (從校準(zhǔn)壓力開始)

控制響應(yīng)時(shí)間(T63,用戶可調(diào))     小閥門:30 ms;R閥門:150 ms

顯示響應(yīng)時(shí)間     127 ms(用戶可調(diào))            

預(yù)熱時(shí)間    < 1 s

默認(rèn)標(biāo)況(STP)    25 ℃ & 1Atm(其它標(biāo)況可調(diào))  

閥門功能     常閉型

工作溫度    -10 ~ 60 ℃(可選高溫/低溫選項(xiàng))

溫度精度    ± 0.75 ℃                        

工作濕度    0 ~ 95 %,無冷凝

最大工作壓力    0.3 MPa表壓,進(jìn)出口最大允許瞬時(shí)壓差70 Kpa

操作壓力    如果不做真空特殊標(biāo)定,建議在絕壓80 KPaA以上使用; 

                   其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度    ± 0.75 %讀數(shù)(>1 Atm),或±0.1 PSIA(<1Atm)

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號(hào)40 Hz@19200波特率;模擬信號(hào):1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)    RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT

                   EtherNet/IP、Profibus、Modbus RTU(RS232 / RS485)

模擬輸入/輸出信號(hào)    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號(hào)精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    12 - 30 VDC 

供電電流     250 mA,1 A,2 A(詳情咨詢),額外加 40 mA(4-20 mA)

電氣接口    DB9M,可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率(外漏)    選擇HLC選項(xiàng),泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質(zhì)    302、303、304、430FR不銹鋼、Viton、硅橡膠、環(huán)氧樹脂、

                   玻璃增強(qiáng)聚苯硫醚、鋁、玻璃、硅、銅、金

                   R閥門430FR不銹鋼替換為410不銹鋼

過程連接    詳情參考?jí)簱p表

安裝位置    小閥門無要求,R閥門需閥體垂直向上安裝

防護(hù)等級(jí)    IP40

認(rèn)    證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA (可選)

尺寸詳圖


ALICAT 低壓損氣體質(zhì)量流量控制器 21W系列

ALICAT 低壓損氣體質(zhì)量流量控制器 21W系列

尺寸壓損


滿量程質(zhì)量流量控制器

滿量程壓損1(psid)

排氣到大氣中

外觀尺寸

連接接口2

0.5 sccm - 2 sccm

0.06

3.9''H x   3.4''W x 1.1''D

M-5 (10-32)內(nèi)螺紋(含M-5 (10-32)外螺紋Buna-N O型密封圈至1/8''  NPT內(nèi)螺紋)

5 sccm - 10 sccm

0.08

20 sccm

0.07

50 sccm - 200 sccm

0.07

4.1''H x   3.6''W x 1.1''D

1/8'' NPT 內(nèi)螺紋

500 sccm

0.08

1 slpm

0.10

2 slpm

0.18

5 slpm

0.10

5.5''H x   7.7''W x 2.3''D

1/4''NPT內(nèi)螺紋

10 slpm

0.12

20 slpm

0.26

40 slpm

0.14

5.5''H x   7.7''W x 2.3''D

1/2'' NPT 內(nèi)螺紋

50 slpm

0.17

5.5''H x   7.3''W x 2.3''D

3/4'' NPT 內(nèi)螺紋

100 slpm

0.30

250 slpm

0.69

500 slpm

0.69

5.5''H x   8.1''W x 2.7''D

3/4'' NPT 內(nèi)螺紋

1000 slpm

1.65

6.3''H x   9.8''W x 4.5''D

2'' NPT 內(nèi)螺紋

1、公制當(dāng)量見圖紙。

2、與Beswick®,Swagelok®管,Parker®,表面密封,快接接頭和卡套轉(zhuǎn)接頭相兼容,也可以按照用戶需求與VCR,SAE接頭相兼容。


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