Alpha-Step D-500探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D臺階高度。 D-500還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測量。 D-500包括一個手動140毫米平臺和先進(jìn)的光學(xué)系統(tǒng)以及加強(qiáng)視頻控制。

臺階儀產(chǎn)品描述

Alpha-Step D-500探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測量。 新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。

探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行準(zhǔn)確測量。 通過測量粗糙度和應(yīng)力，可以對工藝進(jìn)行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。

臺階儀主要功能

•       臺階高度：幾納米至1200μm

•       低觸力：0.03至15mg

•       視頻：500萬像素分辨率彩色攝像頭

•       梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

•       圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

•       緊湊尺寸：小占地面積的臺式探針式輪廓儀

•       軟件：用戶友好的軟件界面

主要應(yīng)用

•       臺階高度：2D臺階高度

•       紋理：2D粗糙度和波紋度

•       形式：2D翹曲和形狀

•       應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力

工業(yè)應(yīng)用

•       大學(xué)，研究實驗室和研究所

•       半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

•       SIMS：二次離子質(zhì)譜

•       LED：發(fā)光二極管

•       太陽能

•       MEMS：微電子機(jī)械系統(tǒng)

•       汽車

•       醫(yī)療設(shè)備